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Metrology系列
探針卡自動光學檢測/自動螺絲檢查機/電容值量測機
【用途說明】
● 晶圓探針卡自動光學檢測設備應用在晶圓探針卡入料品質控制（IQC）檢測及修補檢測，檢測項目包含探針尖平面度、探針長度、探針直徑、探針位置偏移、探針導板平面度、螺絲高度及印刷電路板電子元件。並具備人工調針立體光學顯微影像平台，整合自動化檢測及探針卡調針修復功能。

晶圓雷射切割道形貌自動量測設備
【用途說明】
● 晶圓雷射切割道形貌自動量測設備應用於晶圓切割（Dicing Saw）前，進行雷射開槽（Laser Grooving）後，針對雷射切割道進行三維形貌尺寸量測，檢測出不符合製程規格之產品，以確保晶圓切割時產品的可用性。